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英国Edwards爱德华EH250机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01至10mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。 机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
英国Edwards爱德华EH250机械增压泵应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光。
英国Edwards爱德华EH250机械增压泵功能和优势
适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。
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