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日本日立S-3000N扫描电子显微镜SEM是一种电脑控制的变压扫描电子显微镜，能够在高真空和变压模式之间切换。它具有高密度帧存储器和先进的图像捕获和存档系统。 四象限固态反向散射允许通过操纵探测器的每个部分以成分、三维和地形模式成像。
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日本日立S-3000N扫描电子显微镜SEM系统规范
0.3-30kV加速电压范围；可变压力模式下，25kV时分辨率为5nm；直径150毫米的最大样本尺寸；低电压信号噪声的双偏置。
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