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最大加工尺寸为400mm x 400mm 灵活的架式电极可以在RIE或等离子体蚀刻模式下处理各种样品。工艺室可配置多个大型加工架，以满足大批量生产的要求。全自动 "一键式 "操作，可完全手动操作。带触摸屏的PLC控制器提供直观的图形界面 干式泵和系统布局便于维护。可靠、耐用的系统，全球安装了150多个系统。
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