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Anti-static unit/防静电单元装置原理
通过调整用二氧化碳溶解模组(参照右上图)生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率，可调节超纯水的电阻率值。
CO2溶解原理
DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW具有导电性，消除静电。由于使用微细中空纤维膜束，可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。eFLOW2. 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。
Anti-static unit/防静电单元定制规格·装置
清洁规格(流量～30L/min);低电阻率(0.025～0.05MΩ·cm)型;小型·电气部分离型;大流量(100 L/min)型;其他 可定制。
Anti-static unit/防静电单元主要用途
• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
Anti-static unit/防静电单元性能参数
P Series可安装在符合EIA（美国电子工业协会）规格的支架上。1AP型为标准机，连接部全清洁规格，2AP型为选购件，可对应全清洁规格。
| 产品名称 | 处理流量（L/min） | 模组 |
| eFLOW 1AP-B02 |
1-16 |
PF-001L-NA 1个 1module |
| eFLOW 2AP-B01 |
5-30 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| eFLOW 3AP-B01 |
10-50 | PF-001L-ND3 2个 2modules |
| eFLOW 1AC-P201 |
1-16 | PF-001L-NA 1个 1module |
| eFLOW 2AC-P201 |
5-30 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| eFLOW 3AC-P201 |
10-50 | PF-001L-ND3 2个 2modules |
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