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晶圆盒

晶圆盒

晶圆盒用于在半导体制造操作期间运输和存储晶圆。 它们也称为晶圆载具,旨在容纳或承载多个相同尺寸的晶圆,并提供多种材料以支持特定应用,例如热处理。

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