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SOS 蓝宝石上的硅

SOS 蓝宝石上的硅


建盟化学致力于满足每个客户的独特需求,为具有高难度或特定项目要求的晶圆生产商、技术开发商定制提供硅锭解决方案。

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产品详情

序号

项目

规格

1

Material 材料

High Purity MonocystallineAl₂O₃(≥99.996%)

2

Orientation 表面晶向 Cto M

C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°;
0°± 0.1°(A-axis)

3

Orientation 表面晶向 C to A

0.00±0.1°

4

Primary Flat to 主定位边晶向A-plane(11-20)

A-plane ± 0.2°

5

Diameter 直径

50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm

6

Thickness 厚度

420~440um, 640-660um,1300mm

7

Flat Length 平边宽

16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm

8

Edge profile 倒边

R倒角

9

TTV

≤5um

10

BOW

0~-10um

11

Warp

≤15um

12

Front Side Roughness 正面粗糙度

<0.3nm

13

LTV

≤1.8um

14

R向(r-plane)

R9

15

Back Side Roughness 背面粗糙度

0.8-1.2um

16

Laser Mark 激光标记

背面打码/Back side

17

Package 包装

25 片/盒,25 pcs/cassette


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