直径 |
4" |
5" |
6" |
8" |
|
外延层 |
掺杂 |
Boron, Phos, Arsenic |
|||
晶向 |
<100>, <111> |
||||
导电类型 |
P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+ |
||||
电阻率 |
0.001-50 Ohm-cm |
||||
电阻率均匀性 |
Standard <6%, Maximum Capabilities <2% |
||||
外延层厚度 (um) |
0.1-100 |
||||
厚度均匀性 |
Standard <3%, Maximum Capabilities <1% |
||||
衬底 |
晶向 |
<100>, <111> |
|||
导电类型/掺杂元素 |
P Type/Boron , N Type/Phos, N Type/As, N Type/Sb |
||||
厚度 (um) |
300-725 |
||||
电阻率 |
0.001-100 Ohm-cm |
||||
表面状态 |
P/P, P/E |
||||
颗粒度 |
<30@.0.5um |
||||
扫描二维码 关注微信
