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清洗设备应用

提供世界知名品牌半导体晶圆制造清洗设备应用工艺技术,清洗设备应用包括硅片清洗对半导体工业的重要性早在50年代初就已引起人们的高度重视,这是因为硅片表面的污染物会严重影响器件的性能、可靠性、和成品率。随着微电子技术的飞速发展以及人们对原料要求的提高,污染物对器件的影响也愈加突出。

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