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CVD设备应用

提供世界知名半导体晶圆制造CVD设备应用技术工艺。CVD设备应用包括化学气相沉积技术成膜均匀性优、薄膜覆盖率高、成膜质量好、涂层纯度可控、可得到混合涂层、可镀膜形状复杂基体、可涂层粉体、可在常压或真空条件下进行、可在低温下合成高熔点物质,优点明显,是制备高性能薄膜的重要技术。

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