全国统一电话

0769-8275 0082

暂无记录
首页应用推荐应用推荐掺杂气体应用 应用推荐

掺杂气体应用

提供世界知名品牌掺杂气体应用工艺技术。掺杂气体应用包括在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结,电阻,埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。主要包括砷烷,磷烷,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷等。通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气)在源柜中混合,混合后气流连续流入扩散炉内环绕晶片四周,在晶片表面沉积上化合物掺杂剂,进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅。

产品详情
掺杂气体应用
推荐产品
    暂无记录

下载资料
Baidu
map